工作原理
WJZ系列無介質(zhì)獨立膜電阻蒸發(fā)真空鍍膜機的原理是在真空室中將金屬材料（鋁、鎳、錫等）利用電阻蒸發(fā)技術(shù)將材料汽化，汽化后的金屬分子產(chǎn)生飛逸沉積于基材的表面上形成鋁、錫等純金屬薄膜層，出爐后將膜層從特別的基材表面可輕輕剝落，形成無介質(zhì)獨立性的厚度為2-3μm，具有一定彈性、能夠隔離氣體和光線的薄膜。
應用范圍
產(chǎn)品特點
技術(shù)參數(shù)表
| WJZ系列無介質(zhì)獨立膜電阻蒸發(fā)真空鍍膜機 | |||||||
| 型號 | WJZ-600 | WJZ-800 | WJZ-1000 | WJZ-1200 | WJZ-1400 | WJZ-1600 | WJZ-1800 |
| 真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1800×2000MM |
| 真空機組 | KT300擴散泵機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT800擴散泵機組 |
| 鍍膜系統(tǒng) | 電阻蒸發(fā)源+圓柱磁控多弧（可選配） | ||||||
| 鍍膜輔助系統(tǒng) | 低溫離子鍍膜電源 | ||||||
| 充氣系統(tǒng) | 質(zhì)量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質(zhì)量流量計 |
| 控制方式 | 手動或全自動 | ||||||
| 抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
| 極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
| 備注 | 以上設(shè)備參數(shù)僅做參考，具體均按客戶實際工藝要求設(shè)計訂做 | ||||||